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專任
課程名稱
微機電系統概論  (109-1)
科目序號 / 代號
1838 / MAB3011
開課系所
機械與自動化工程學系
學制 / 班級
進修學士班3年1班
畢業班/非畢業班
非畢業班
必選修 / 學分數
選修 / 3
上課時段 / 地點
(四)CDE / H228
授課語系
中文
Office Hour
(三) 13:20~14:10、(三) 14:20~15:10、(四) 08:10~09:00、(五) 08:10~09:00 / h211
課程簡介
微機電系統概論為探討微製造、設計與實際應用相互關係的基礎科目,將講授體內微細加工、表面微細加工、光刻、電鑄、模造及微放電加工等基本加工原理,透過課程的講解,使學生瞭解其製程、設計原理,進而訓練學生具備微系統工程之設計製造能力。
課程大綱
第一章:簡介 第二章:應用 第三章:體型微加工 第四章:面型微加工 第五章:LIGA(微光刻電鑄模造) 第六章:微機械加工 第七章:接合技術 第八章:檢測技術 第九章:微致動器與微感測器
基本能力或先修課程
機械製造、材料力學